晶圆定位视觉系统

检测需求

生产需求:在晶圆生产过程中,光刻、蚀刻、键合、切割等工序都需要都晶圆进行定位,以保障晶圆的高精度生产,保障最终芯片的性能和功能达标,高精度的视觉定位系统已成刚需。

检测难点:超高精度、低畸变的光学系统,整体系统的稳定性,特征定位的准确分析及算法的适应能力,都是晶圆视觉定位的挑战。

检测案例

晶圆定位视觉系统

对晶圆按照芯片排列,转正角度的同时,找到边缘起点位置
可自由匹配各类晶圆,解决多样化产品调试难度大的问题
可采用AI目标定位,对不同产品进行粗定位识别,无需建立不同工程模板

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