花篮硅片检测视觉系统

检测需求

生产需求:在硅片生产过程中,通常会有大量的硅片需要处理。人工检测不仅速度慢,而且容易出现疲劳和误判。视觉检测可以实现自动化和高速检测,能够在短时间内对装在花篮中的众多硅片进行逐一检查,从而避免不合格硅片进入后续加工流程,有效节省时间和生产成本。

检测难点:由于花篮的结构以及硅片的排列方式,会导致光照不均匀,遮挡反光等,影响图片采集质量,微小的碎片难以被识别,这对视觉成像系统提出了较高要求。

检测案例

花篮硅片检测视觉系统

检测项目: 载满花篮中,硅片叠片、碎片、空片;空花篮中,硅片残留、碎片残留等

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